vatvalve蝶(die)形控制(zhi)閥

vatvalve蝶(die)形控制(zhi)閥 61328-KAAE-0001

61.3 蝶(die)形控制(zhi)閥可(ke)提(ti)供出色的(de)壓力控制(zhi)性能。憑(ping)借其快速且精準(zhun)的作用(yong)動作(zuo)控制(zhi)器(qi)（0.1 秒），61.3 蝶形控制(zhi)閥成為 CVD 和(he) ALD 工藝中精細(xi)控制(zhi)的(de)理(li)想解(jie)決方案。閥板(ban)可(ke)充當節流(liu)元(yuan)件，改變閥門(men)開度的(de)流導(dao)特(te)性。61.3 蝶形控制(zhi)閥的(de)集(ji)成壓力控制(zhi)器(qi)可計算(suan)所需(xu)的(de)閥板(ban)位(wei)置(zhi)，以盡快實現設(she)定(ding)壓力。

該系(xi)列產(chan)品(pin)專(zhuan)為氣(qi)流中(zhong)有粒(li)子(zi)的(de)惡(e)劣(lie)下遊(you)工藝設計。即(ji)使粒子(zi)載(zai)荷高(gao)並且存在因(yin)設計而(er)沈(chen)積的(de)碎(sui)屑，61.3 蝶(die)形控制(zhi)閥仍(reng)能夠(gou)保持正(zheng)常(chang)運(yun)行(xing)。

61.3 系列已(yi)經(jing)安(an)裝在數(shu)千個各(ge)種(zhong)工藝條件下(xia)的要求苛刻(ke)的(de)應用中，證(zheng)明(ming)了(le)其可靠(kao)性。憑(ping)借堅(jian)固的(de)設(she)計、直接安(an)裝選項，以及簡(jian)單且輕松的(de)維(wei)護，61.3 系(xi)列在各(ge)個方(fang)面都(dou)令(ling)人(ren)信服(fu)。

閥體(ti)材料(liao)、表(biao)面(mian)處(chu)理(li)、彈性體、法(fa)蘭(lan)連接(jie)、特(te)殊尺(chi)寸以及特(te)殊控制(zhi)算(suan)法（自適(shi)應、固定(ding) PI 下(xia)遊(you)/軟(ruan)抽(chou)）方面(mian)的各(ge)種(zhong)設計選項可簡(jian)化(hua)在不同真空(kong)應用中的集成。

特(te)點(dian)：

好(hao)的(de)壓力控制(zhi)

運(yun)行(xing)非常(chang)快

板(ban)載(zai)軟(ruan)件(jian)，用(yong)於(yu)本地(di)運(yun)行(xing)

惡(e)劣(lie)工藝條件下(xia)可實現可(ke)靠(kao)運(yun)行(xing)

優勢：

工藝可控性更好

正(zheng)常(chang)運(yun)行(xing)時間長(chang)/性能不受(shou)限(xian)

運(yun)行(xing)成本低(di)

技(ji)術參數(shu)：

尺(chi)寸

DN 25 (1")

驅(qu)動器(qi)

步進電(dian)機(ji)

材料(liao)

鋁(lv)

法蘭(lan)

ISO-KF

控制(zhi)器(qi)配(pei)置(zhi)

SPS

控制(zhi)器(qi)接口+感(gan)應器

邏輯（A/D）/2個感(gan)應器

低(di)壓力

1 × 10-8 mbar

最高(gao)壓力

1.2 bar (abs)

泄漏(lou)率

1 × 10-9 ls-1

循(xun)環(huan)直到(dao)第壹次維(wei)修(xiu)

2 000 000

最(zui)高溫(wen)度閥體(ti)

≤ 150 °C

密(mi)封(feng)

FKM

閘門(men)上的壓差(cha)

≤ 1 bar

典(dian)型的關(guan)閉或開(kai)放(fang)時間

90 ms

最小可(ke)控電導(dao)率(lv)(N2分(fen)子(zi)流(liu))

0.15 ls-1

最(zui)大(da)電(dian)導(dao)率(lv)(N2分(fen)子(zi)流(liu))

22 ls-1

重量

2.2 kg / 4.85 lbs

vatvalve蝶形控制(zhi)閥 61328-KAAE-0001