在科(ke)學研(yan)究(jiu)和(he)工業應(ying)用(yong)中，光學幹(gan)涉(she)儀(yi)是(shi)壹(yi)種非常(chang)重要(yao)的(de)工(gong)具，它可(ke)以通(tong)過(guo)測量(liang)光(guang)波的(de)幹(gan)涉(she)現(xian)象來獲(huo)取物體(ti)的微(wei)小變化。然(ran)而，傳統的(de)光(guang)學(xue)幹(gan)涉(she)儀(yi)通(tong)常(chang)需要(yao)內置(zhi)光(guang)學(xue)鏡(jing)，這使(shi)得(de)其(qi)結構(gou)復雜(za)，成(cheng)本高昂(ang)，且難(nan)以實(shi)現(xian)小型(xing)化。為了解決(jue)這個問(wen)題(ti)，壹(yi)種Renishaw雷尼(ni)紹無(wu)內置(zhi)光(guang)學(xue)鏡(jing)幹(gan)涉(she)儀(yi)逐(zhu)漸嶄露(lu)頭角(jiao)，它的(de)信號(hao)處(chu)理(li)和(he)數據(ju)分(fen)析(xi)方法也(ye)得(de)到(dao)了廣泛(fan)關(guan)註。
壹(yi)、原(yuan)理(li)
Renishaw雷尼(ni)紹無(wu)內置(zhi)光(guang)學(xue)鏡(jing)幹(gan)涉(she)儀(yi)的(de)基本原(yuan)理(li)是(shi)利(li)用(yong)光的幹(gan)涉(she)現(xian)象進行(xing)測量。它通(tong)過(guo)將待(dai)測(ce)物體(ti)反射(she)的光(guang)與參(can)考(kao)光(guang)進行(xing)幹(gan)涉(she)，產生(sheng)幹(gan)涉(she)條(tiao)紋。由(you)於待(dai)測(ce)物體(ti)引起的微(wei)小變化會(hui)導致(zhi)幹(gan)涉(she)條(tiao)紋的移(yi)動(dong)，因(yin)此可(ke)以通(tong)過(guo)測量(liang)幹(gan)涉(she)條(tiao)紋的移(yi)動(dong)來獲(huo)取待(dai)測(ce)物體(ti)的變化。
二、信號(hao)處(chu)理(li)方法
1.信號(hao)采(cai)集：使(shi)用(yong)光(guang)電傳感器將幹(gan)涉(she)條(tiao)紋轉換(huan)為電信號(hao)，然(ran)後(hou)通(tong)過A/D轉換(huan)器(qi)將其(qi)轉換(huan)為數(shu)字(zi)信號(hao)。
2.信號(hao)處(chu)理(li)：對(dui)采(cai)集到(dao)的(de)數(shu)字信號(hao)進行(xing)濾(lv)波、放(fang)大(da)等(deng)處(chu)理(li)，以消(xiao)除(chu)噪聲(sheng)和(he)提高信噪比(bi)。
3.信號(hao)分(fen)析(xi)：通過(guo)計(ji)算(suan)幹(gan)涉(she)條(tiao)紋的移(yi)動(dong)量、頻(pin)率(lv)等(deng)參(can)數(shu)，得(de)到(dao)待(dai)測(ce)物體(ti)的變化信息(xi)。
三、數據(ju)分(fen)析(xi)方法
1.數據(ju)預(yu)處(chu)理(li)：對(dui)采(cai)集到(dao)的(de)數(shu)據進行(xing)清洗(xi)、去(qu)噪等(deng)預(yu)處(chu)理(li)操(cao)作(zuo)，以提高數據(ju)質量(liang)。
2.特(te)征提取：從預(yu)處(chu)理(li)後(hou)的(de)數(shu)據中提取出與待(dai)測(ce)物體(ti)變化相(xiang)關(guan)的特(te)征。
3.數(shu)據分(fen)析(xi)：利用(yong)統計(ji)學(xue)、模式(shi)識(shi)別等(deng)方法對(dui)提取的(de)特(te)征進行(xing)分(fen)析(xi)，以得(de)出待(dai)測(ce)物體(ti)的變化規(gui)律和(he)趨勢(shi)。
Renishaw雷尼(ni)紹無(wu)內置(zhi)光(guang)學(xue)鏡(jing)幹(gan)涉(she)儀(yi)作(zuo)為壹(yi)種新型(xing)的光(guang)學幹(gan)涉(she)儀(yi)，具(ju)有結(jie)構(gou)簡單、成(cheng)本低(di)廉(lian)、易於實(shi)現(xian)小型(xing)化等(deng)優點(dian)。它的(de)信號(hao)處(chu)理(li)和(he)數據(ju)分(fen)析(xi)方法對(dui)於獲(huo)取待(dai)測(ce)物體(ti)的微(wei)小變化具(ju)有重(zhong)要(yao)意(yi)義(yi)。
