Festo 費斯(si)托在半(ban)導(dao)體行(xing)業中的(de)解決(jue)方案(an)
Festo – 為半(ban)導(dao)體行(xing)業提供(gong)壹(yi)站式解(jie)決(jue)方案(an)
在半(ban)導(dao)體制(zhi)造(zao)這個(ge)快節(jie)奏(zou)的(de)世界(jie)裏，精(jing)確(que)度至(zhi)關(guan)重要(yao)。半(ban)導(dao)體行(xing)業由技(ji)術進(jin)步(bu)所(suo)推(tui)動(dong)，任(ren)何(he)微(wei)小的(de)變化都可(ke)能對產(chan)品(pin)的質(zhi)量和性能產(chan)生(sheng)重大影(ying)響。而氮氣吹掃(sao)技術就(jiu)是這(zhe)壹(yi)領(ling)域(yu)的無名(ming)英雄(xiong)，為半(ban)導(dao)體生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)帶來了(le)眾(zhong)多益處。
氮氣吹掃(sao)的優勢(shi)與半(ban)導(dao)體材(cai)料本(ben)身壹(yi)樣(yang)。通(tong)過(guo)利(li)用氮氣的特性，妳可(ke)以(yi)實(shi)現(xian)更(geng)高(gao)的(de)產(chan)量、更優(you)的產(chan)品(pin)質(zhi)量、更長(chang)的設(she)備(bei)使用(yong)壽命，以(yi)及(ji)更安全、更可(ke)持續的生(sheng)產(chan)過(guo)程(cheng)。想要(yao)了(le)解如何實(shi)施(shi)氮氣吹掃(sao)系統以減少高(gao)達(da)4%的碳(tan)排(pai)放量。
產(chan)品(pin)壹(yi)：
質(zhi)量流量調節(jie)閥 VEMD、
得(de)益(yi)於(yu)比(bi)例(li)閥，動(dong)態(tai)質(zhi)量流量調節(jie)閥 VEMD 運行噪(zao)音(yin)極低(di)。 帶傳感(gan)器(qi)的集成式電子元(yuan)件按(an)比(bi)例(li)對空氣、氧氣、氮氣、氬氣和二氧化碳(tan)的流量進(jin)行(xing)檢測、調(tiao)節(jie)和計量。
質(zhi)量流量調節(jie)閥 (MFC)，帶熱流量傳感(gan)器(qi)和集成控(kong)制電子(zi)裝置(zhi)
動(dong)態(tai)調(tiao)節(jie)，響應時間短
工作(zuo)介(jie)質(zhi)：空氣、氧氣、氮氣、氬氣、二氧化碳(tan)
當前(qian)流量值可通過(guo)接(jie)口(kou)獲得
適(shi)用於(yu)許(xu)多需要(yao)調節(jie)惰(duo)性氣體或(huo)氧(yang)氣的應用
通(tong)過(guo)高(gao)效控(kong)制實(shi)現(xian)可(ke)持續運行
產(chan)品(pin)二：
用於(yu) VYKA 的電(dian)氣連接(jie)元(yuan)件 VAVE-K1
用於(yu)介(jie)質(zhi)分離式電磁閥 VYKA
帶保(bao)持電流降低(di)功(gong)能
應用：控(kong)制和調節冷(leng)卻(que)回(hui)路
您面臨(lin)的(de)挑(tiao)戰：在半(ban)導(dao)體制(zhi)造(zao)過(guo)程(cheng)中可靠地調節(jie)冷(leng)卻(que)液
Festo 的(de)解(jie)決(jue)方案(an)：
閥(fa)島(dao) VTUG 和 VTOC (1)用於可(ke)靠地控(kong)制介(jie)質(zhi)的氣控(kong)閥
CPX-MPA 型(xing)閥(fa)島(dao)如果需(xu)要(yao)額外(wai)的(de) I/O，例(li)如用來控(kong)制電控(kong)閥、集成傳感器(qi)或創建閉(bi)環(huan)控(kong)制回路。此(ci)閥島(dao)還(hai)可(ke)用於(yu)執(zhi)行診(zhen)斷和遠程維護功(gong)能。
氣控(kong)或電控(kong) 閥 VZXA、VZQA 和 VZWF (3)控(kong)制介(jie)質(zhi)流量。即(ji)使在閉環控(kong)制回路中，也能可靠、準(zhun)確(que)地調節(jie)非常冷(leng)和/或熱的(de)介(jie)質(zhi)。
角行(xing)程驅(qu)動(dong)器(qi) DFPD (4)驅(qu)動(dong) 球(qiu)閥 VZBF (5)以及通(tong)常用(yong)於(yu)冷(leng)卻(que)或(huo)溫(wen)度控(kong)制介(jie)質(zhi)的主(zhu)管線(xian)和進(jin)/出(chu)管線(xian)的(de)大流量翻板(ban)閥。
SFAW (2) 和 SPAW (6)型(xing)傳(chuan)感(gan)器(qi)非常準(zhun)確(que)地測量介(jie)質(zhi)流量以及(ji)溫(wen)度和壓(ya)力。
Festo 為制(zhi)造(zao)電子(zi)元(yuan)件的機(ji)器(qi)提供(gong)了(le)廣泛(fan)的產(chan)品(pin)組(zu)合：具有(you)集成安全功能的閥島(dao) VTOC 或我們(men)的比(bi)例(li)壓(ya)力閥(fa) VEAA/VEAB（用(yong)於(yu)對通常控(kong)制或調(tiao)節工(gong)藝(yi)氣體的(de)介(jie)質(zhi)閥進(jin)行(xing)先(xian)導(dao)控(kong)制）。
閥島(dao) VTOC
緊(jin)湊型(xing)先(xian)導(dao)閥(fa)島(dao)適(shi)用(yong)於各種(zhong)氣動(dong)應(ying)用(yong)。加(jia)上互(hu)鎖選(xuan)項，提(ti)高安全性。VTOC通(tong)過(guo)多針或現(xian)場總線(xian)接(jie)口(kou)控(kong)制，也適(shi)用於(yu)10-Link®,
比(bi)例(li)壓(ya)力閥(fa) VEAA
壓(ya)電技(ji)術使 VEAA 極(ji)其(qi)精(jing)確(que)，使用(yong)壽命長(chang)，壓(ya)力範(fan)圍高達 10bar。其(qi)他(ta)優點(dian)包(bao)括極(ji)短的切換(huan)時(shi)間、安靜的運行和極低的(de)功耗(hao)。
比(bi)例(li)壓(ya)力閥(fa) VEAB
壓(ya)電技(ji)術使 VEAB 極(ji)為精(jing)確(que)，使用(yong)壽命長(chang)，壓(ya)力範(fan)圍高達6bar。其(qi)他(ta)優點(dian)包(bao)括極(ji)短的切換(huan)時(shi)間、安靜的運行和極低的(de)功耗(hao)。
